单晶硅炉C/C坩埚

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关键词: 单晶硅炉C/C坩埚           

摘要

技术特性
1. 纤维含量高:采用纯炭布(不含网胎和短纤)热压成型,CVD增密,成品炭纤维含量大于80%,较传统C/C坩埚炭纤维含量高2.5倍以上。
2. 高压成型,高纯化学气相增密,
3. 无“壁厚效应”:材质均匀,性能稳定,安 全性高。
4. 表面强化层:表面有高纯度、高密度(≥1.75g/cm3)的强化层,抗硅腐蚀、抗氧化、防炭污染,使用寿命长。

产品介绍

单晶硅炉C/C坩埚

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